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雙級(jí)旋片式真空泵其核心結(jié)構(gòu)由多個(gè)關(guān)鍵部件組成

更新更新時(shí)間:2025-07-26 瀏覽次數(shù):9

  雙級(jí)旋片式真空泵是一種高效、精密的容積式真空設(shè)備,通過兩級(jí)串聯(lián)的旋片結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)氣體分級(jí)壓縮與抽排,廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、電子半導(dǎo)體、食品包裝、化工制藥等領(lǐng)域。其核心優(yōu)勢(shì)在于通過雙級(jí)壓縮顯著提升極限真空度(可達(dá)≤6×10?²Pa),同時(shí)降低單級(jí)負(fù)荷,延長(zhǎng)使用壽命。
  該泵由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋及彈簧等部件構(gòu)成。轉(zhuǎn)子偏心安裝于泵腔內(nèi),其槽中嵌有兩片可滑動(dòng)的旋片,彈簧使旋片頂端始終緊貼泵腔內(nèi)壁。運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片滑動(dòng),將泵腔分隔為高級(jí)(高真空級(jí))和低級(jí)(低真空級(jí))兩個(gè)工作腔。氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入高級(jí)腔,經(jīng)壓縮后部分直接排出,部分通過級(jí)間通道進(jìn)入低級(jí)腔二次壓縮,最終從低級(jí)排氣閥排出。這種分級(jí)壓縮設(shè)計(jì)使雙級(jí)泵的壓縮比遠(yuǎn)高于單級(jí)泵,從而獲得更深的真空。
  雙級(jí)旋片式真空泵其核心結(jié)構(gòu)由多個(gè)關(guān)鍵部件組成。以下是其主要組成部分及功能解析:
  1、泵體
  作用:作為整個(gè)裝置的外殼和主體框架,容納其他內(nèi)部組件并形成密閉的工作腔室。
  特點(diǎn):通常采用黑色金屬制造,具有較高的精密度和耐腐蝕性。
  2、轉(zhuǎn)子
  安裝方式:偏心地安裝在泵腔內(nèi),其外圓與泵體內(nèi)壁保持微小間隙。
  功能:通過旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排出循環(huán)。
  3、旋片
  數(shù)量與結(jié)構(gòu):一般為兩塊,嵌于轉(zhuǎn)子槽中,依靠彈簧張力和離心力緊貼泵腔內(nèi)壁。
  工作原理:將定子分隔為高、低兩個(gè)工作腔(即高級(jí)腔和低級(jí)腔),通過容積變化完成抽氣過程。當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),旋片隨動(dòng)滑動(dòng),使一側(cè)容積擴(kuò)大吸氣,另一側(cè)縮小排氣。
  4、端蓋
  位置與用途:位于泵體的兩端,用于封閉系統(tǒng)并支撐相關(guān)部件。
  密封性:確保各連接處的氣密性,防止泄漏影響真空效果。
  5、彈簧
  作用機(jī)制:置于兩旋片之間,提供持續(xù)的壓力以維持旋片與泵壁的良好接觸。結(jié)合離心力共同保證運(yùn)行穩(wěn)定性。
  6、排氣閥與輔助裝置
  排氣通道:包括主排氣閥和輔助排氣閥,用于控制不同壓力下的氣體排放路徑。例如,在吸入壓強(qiáng)較高時(shí),部分氣體直接從輔助閥排出;低壓時(shí)則通過級(jí)間通道進(jìn)入低級(jí)腔再壓縮后排出。
  氣鎮(zhèn)裝置(可選):允許抽除少量可凝性蒸氣(如水蒸氣),增強(qiáng)設(shè)備的適應(yīng)性。
  7、過濾與分離系統(tǒng)
  粗過濾器:吸氣口處設(shè)有金屬絲網(wǎng),阻擋固體顆粒進(jìn)入泵內(nèi)。
  油分離器:內(nèi)置高效油氣分離器及排氣過渡器,減少油霧污染并回收潤(rùn)滑油。
  8、冷卻系統(tǒng)(部分型號(hào)配備)
  水冷設(shè)計(jì):某些大型或高性能機(jī)型采用泵殼內(nèi)通冷卻水的方式降低溫度,提升極限真空度和運(yùn)行效率。

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